高純度氣體供應(yīng)對(duì)許多工業(yè)和研究應(yīng)用至關(guān)重要。氣體污染可能對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量和產(chǎn)量產(chǎn)生毀滅性影響。質(zhì)譜法為檢測(cè)純氣流中的污染物提供了無與倫比的多功能性，對(duì)大多數(shù)物種的檢測(cè)能力都低于PPM水平。

        應(yīng)用包括：

            衛(wèi)星制造吹掃氣體分析。

            熱等靜壓工藝（HIP）供氣中污染物的氣體分析

            閉式循環(huán)制冷壓縮機(jī)氣體中雜質(zhì)的分析

            鋼廠還原過程中的高純氫分析

            半導(dǎo)體工藝氣體供應(yīng)

        Hiden的一系列多氣流進(jìn)氣口可用于監(jiān)測(cè)4或8股氣流。Hiden的Hydra系統(tǒng)可以監(jiān)測(cè)多達(dá)80股氣流。