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Hiden PSM是一臺結合質(zhì)量和能量分析的儀器,用于分析等離子體過程中正、負離子、中性粒子以及自由基的種類和能量分布。
等離子體質(zhì)量能量分析質(zhì)譜儀把扇區(qū)場能量分析儀和高性能的四極質(zhì)量過濾器結合在一起作為等離子表征的儀器。等離子體質(zhì)量能量分析質(zhì)譜儀可以獲得中性粒子、自由基、離子(正、負)的質(zhì)譜和能量分布。
品牌:Hiden 型號:TOF-qSIMS 制造商:Hiden Analytical Ltd 產(chǎn)地: 英國