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描述:等離子體質(zhì)量能量分析質(zhì)譜儀把扇區(qū)場(chǎng)能量分析儀和高性能的四極質(zhì)量過(guò)濾器結(jié)合在一起作為等離子表征的儀器。等離子體質(zhì)量能量分析質(zhì)譜儀可以獲得中性粒子、自由基、離子(正、負(fù))的質(zhì)譜和能量分布。
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