型號(hào)：HAL/3F

殘余氣體分析四極質(zhì)譜儀

描述：Systems for the examination of components present in a vessel or evolved from a process. Measures the concentration of gases and vapours in real time.

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英國(guó)Hiden公司的RGA Series殘余氣體分析四極質(zhì)譜儀(Residual Gas Analysers)，用于真空診斷和工藝工程的精確分析。

RGA Series殘余氣體分析四極質(zhì)譜儀包括HAL RGA ，3F Series RGA和3F-PIC三種規(guī)格水平。

·PPM靈敏度

·通過RS232、USB或Ethernet連接計(jì)算機(jī)，MASsoft專業(yè)軟件控制

·快速顯示柱狀圖、趨勢(shì)分析和信號(hào)峰

·混合模式掃描－多個(gè)windows窗口顯示信息，例如趨勢(shì)、柱狀圖和信號(hào)峰

·同步顯示數(shù)據(jù)圖，列表

·同步背景扣除，自動(dòng)質(zhì)量數(shù)列表

·數(shù)據(jù)輸出為ASCII格式，至windows設(shè)備

·即時(shí)動(dòng)態(tài)數(shù)據(jù)交換至其他DDE兼容的windows軟件，例如 Excel、SPC-IV統(tǒng)計(jì)過程控制軟件等

·質(zhì)量數(shù)范圍： 200，300 amu

·掃描速度： 100amu/s

·最小掃描步階：0.01amu

·靈敏度： 0.1 ppm～1ppm

·穩(wěn)定性： 24h以上，峰高變化小于±0.5%

Mass Spectrometers for Residual Gas Analysis - RGA (1.35 MB)

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