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型號:HPR-80

腐蝕性氣體分析質(zhì)譜儀

描述:初期主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的特氣檢測,如毒性氣體AsH3、B2H6、PH3等,強(qiáng)腐蝕性氣體如如HCI、HF、CIF3等,強(qiáng)氧化性氣體如CIF3、NF3等。 HPR-80腐蝕性氣體分析質(zhì)譜儀非常適用于分析腐蝕性氣體,HF,HCl,HBr和鹵代烴氣體工藝產(chǎn)生的反應(yīng)產(chǎn)物。

  • 廠商性質(zhì)

    進(jìn)口
  • 更新時(shí)間

    2021-03-24
  • 訪問量

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詳細(xì)介紹


腐蝕性氣體分析質(zhì)譜儀 HPR-80( Reactive/Corrosive Species Analyzer)是專為活潑性、腐蝕性氣體分析和半導(dǎo)體、真空過程研究而設(shè)計(jì)的儀器,快速、定量分析活潑性、腐蝕性氣體,如反應(yīng)中間產(chǎn)物,HF, HCl, H2S, F2, AsH3, PH3 等強(qiáng)腐蝕性與半導(dǎo)體工藝氣體。


20年前,Hiden在國際知名期刊《Physics Today》今日物理學(xué)雜志發(fā)布了HPR-80 腐蝕性氣體分析質(zhì)譜儀,初期主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的特氣檢測,如毒性氣體AsH3、B2H6、PH3等,強(qiáng)腐蝕性氣體如如HCI、HF、CIF3等,強(qiáng)氧化性氣體如CIF3、NF3等。

20年來,Hiden在這一細(xì)分領(lǐng)域具有強(qiáng)大的產(chǎn)品力,針對不同程度的腐蝕氣體分析,提供不同的解決方案。

HPR-80 腐蝕性氣體分析質(zhì)譜儀非常適用于分析腐蝕性氣體,HF,HCl,HBr和鹵代烴氣體工藝產(chǎn)生的反應(yīng)產(chǎn)物。

主要特點(diǎn):

  • 連接件電拋光工藝處理

  • 取樣壓力: 1mTorr to 1000Torr

  • 高靈敏度三級過濾四極桿

  • 檢測限可達(dá) 5 ppb

  • QGA專業(yè)版定量分析軟件

 
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