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描述:The HPR-30 is a residual gas analyser configured for analysis of gases and vapours in vacuum processes and for vacuum diagnostics.
HPR-30真空過程氣體分析系統(tǒng)(Process Gas Analyser),適用于監(jiān)測分析殘余氣體和真空工藝過程中的氣體組成及變化。
·簡潔的桌上型,移動推車或控制臺架結(jié)構(gòu)
·質(zhì)量數(shù)范圍: 1~200 amu(標(biāo)準(zhǔn)配置); 300、510、1000amu可選 ·高靈敏度: 5ppb ·取樣壓力: 10-4mbar~1mbar 標(biāo)準(zhǔn)配置 1mbar~30bar 選配 ·穩(wěn)定性好: 24h以上,小于峰高的±0.5% ·過程控制開關(guān) ·信號輸入、輸出接口 Hiden HPR-30 Series Process Gas Analysers (1.2 MB) Mass Spectrometers for Thin Films, Plasma and Surface Engineering (1.1 MB) Partial Pressure Control in Reactive Sputtering (343 KB) |
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