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型號：XBS

分子束外延沉積速率監(jiān)測/控制系統(tǒng)

描述：Hiden’s XBS system provides in-situ monitoring of multiple sources with real-time signal output for precise control of the deposition.

  • 廠商性質(zhì)

    進口

  • 更新時間

    2020-11-23

  • 訪問量

    627
詳細介紹

XBS三級濾過四極質(zhì)譜(MBE Deposition Rate Monitoring / Control System)，適于精確的MBE分析，其他氣體分析和科學實驗使用。Windows? 界面的MASsoft軟件通過RS232、RS485 或以太網(wǎng)控制。

 

·離子源控制，用于軟離子化和表觀電勢質(zhì)譜
·靈敏度增強用于大質(zhì)量數(shù)的傳輸，自動質(zhì)量數(shù)范圍列表

·一級過濾處增加射頻，抗污染物能力增強
·內(nèi)置UHV 兼容的水冷卻罩

 

·靈敏度高，檢測范圍：  100% 至5ppb

·質(zhì)量數(shù)范圍：              0~ 510amu
·長期穩(wěn)定性：              24h以上，峰高變化小于±0.5%)
·交叉離子源，束接收角同軸的橫斷面呈 ±35°
·2mm 束接受孔，也可為特殊使用者配置
·分子束研究中，檢測極限低至30 ions/s
·監(jiān)測生長速率：       1? / min，或更低

XBS Monitor for the Molecular Beam Epitaxy Process (390 KB)

Mass Spectrometers for Thin Films, Plasma and Surface Engineering (1.1 MB)


 
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