您好,歡迎進入 北京英格海德分析技術有限公司網(wǎng)站!
描述:Hiden PSM是一臺結合質量和能量分析的儀器,用于分析等離子體過程中正、負離子、中性粒子以及自由基的種類和能量分布。
PSM是一臺差式泵質譜儀(In-Line Plasma Analysers for Neutrals, Radicals and Ion Analysis),分析等離子過程中的二次離子和中性粒子。
·差式泵歧管,通過法蘭與過程反應室連接 ·電子附著選件,具有可調諧的離子源,用于表觀電勢MS
·靈敏度高 / 極穩(wěn)定的3級過濾四極桿 ·質量數(shù)范圍: 0 ~ 2500amu ·脈沖離子計數(shù)檢測器,7個數(shù)量級的動態(tài)范圍 ·Mu-Metal, Radio-metal屏蔽可選, 高壓操作可選
Mass Spectrometers for Thin Films, Plasma and Surface Engineering (1.1 MB) Mass Analysis of CF3I Decomposition in a Surface Barrier Discharge - GEC 2011 (2.8 MB) Mass Spectroscopy of Metastable Species during Plasma Processing - GEC 2011 (2.1 MB) Time Resolved Ionisation Studies of HIPIMS - PSE 2006 (848 KB) Mass Spectrometry in HiPIMS Plasmas - COST Workshop 2012 (3.2 MB) |