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描述:主要用于射頻等離子體/直流放電等離子體/激光等離子體和微波等離子體的電子密度、離子密度、等離子體電位和電子溫度等狀態(tài)參數(shù)的測量。
ESPion高級朗繆爾探針(Advanced Langmuir Probes for Electrical Plasma Characterisation)可快速、可靠、精確地進行等離子體診斷,是最先進可靠的Langmuir探針。
·Hiden在被動射頻補償方面處于領先地位,在所有的商業(yè)化探針中 ESPion具有最高的屏蔽阻抗(4.25Mohm at 13.56 MHz cf. 100kohm)
·獲得數(shù)據(jù)速度: 15scans/s, ·通過D-O-E-界面可以自動/半自動/手動分析 ·90°探針,組合式線性-旋轉驅動器可選 ·ESPsoft 包括所有必需的標準脈沖選通電路 ·自清洗循環(huán),防止探針尖端污染 ESPION Series - Advanced Langmuir Probes for Plasma Diagnostics (311 KB) Mass Spectrometers for Thin Films, Plasma and Surface Engineering (1.1 MB) AP0067 - O- Density Measurements in the Pulsed-DC Reactive Magnetron Sputtering of Titanium (215 KB) AP0142 - Ion Density Increase in High Power Twin-cathode Magnetron System (247 KB) Energy/Mass Spectrometer Analyser and Langmuir Probe Diagnostics for HIPIMS (1.88 MB) Mass Spectrometry in HiPIMS Plasmas - COST Workshop 2012 (3.2 MB)
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