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型號:ESPion

高級朗繆爾探針

描述:主要用于射頻等離子體/直流放電等離子體/激光等離子體和微波等離子體的電子密度、離子密度、等離子體電位和電子溫度等狀態(tài)參數(shù)的測量。

  • 廠商性質

    進口
  • 更新時間

    2020-11-23
  • 訪問量

    1256
詳細介紹


ESPion高級朗繆爾探針(Advanced Langmuir Probes for Electrical Plasma Characterisation)可快速、可靠、精確地進行等離子體診斷,是最先進可靠的Langmuir探針。

 

·Hiden在被動射頻補償方面處于領先地位,在所有的商業(yè)化探針中 ESPion具有最高的屏蔽阻抗(4.25Mohm at 13.56 MHz cf. 100kohm) 
· 參考探針補償用于抵制較低頻率影響,例如等離子體電位漂移(如,反應室內腔陽極氧化所致) 或噪音(如,供電源引起)
· 高溫等離子體操作時的氣體制冷多感應器鏈,使用者可調諧至其他頻率 


 

 

·獲得數(shù)據(jù)速度:     15scans/s,

·通過D-O-E-界面可以自動/半自動/手動分析
·300600、915mm 自動線性驅動器可選,互鎖隔離閥,

·90°探針,組合式線性-旋轉驅動器可選
·ESPion 是所有商業(yè)化探針中最快速的脈沖等離子體探針,

·ESPsoft 包括所有必需的標準脈沖選通電路

·自清洗循環(huán),防止探針尖端污染
· 經(jīng)由RS232、RS485Ethernet LAN ESPsoft軟件控制


ESPION Series - Advanced Langmuir Probes for Plasma Diagnostics (311 KB)

Mass Spectrometers for Thin Films, Plasma and Surface Engineering (1.1 MB)

AP0067 - O- Density Measurements in the Pulsed-DC Reactive Magnetron Sputtering of Titanium (215 KB)

AP0121 - Hiden ESPion Plasma Probe Measurements on a Hollow-Cathode Based Large-Volume Plasma Source (277 KB)

AP0142 - Ion Density Increase in High Power Twin-cathode Magnetron System (247 KB)

Energy/Mass Spectrometer Analyser and Langmuir Probe Diagnostics for HIPIMS (1.88 MB)

Mass Spectrometry in HiPIMS Plasmas - COST Workshop 2012 (3.2 MB)

Plasma Diagnostics in High Power Impulse Magnetron Sputtering Discharges - TIRI JSFS 2012 Tokyo YAG (3.52 MB)

 

 
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