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描述:EQS 是差式泵式二次離子質(zhì)譜(SIMS-Secondary Ion Mass Spectrometer ‘Bolt-On’ probe),可分析來自固體樣品的二次陰、陽離子和中性粒子。采用最新技術(shù)的SIMS 探針,便于連結(jié)到現(xiàn)有的UHV表面科學(xué)研究反應(yīng)室。
EQS 是差式泵式二次離子質(zhì)譜(SIMS-Secondary Ion Mass Spectrometer ‘Bolt-On’ probe),可分析來自固體樣品的二次陰、陽離子和中性粒子。采用最新技術(shù)的SIMS 探針,便于連結(jié)到現(xiàn)有的UHV表面科學(xué)研究反應(yīng)室。
·光柵控制,增強(qiáng)深度分析能力
·質(zhì)量數(shù)范圍: 300amu,500amu,1000amu ·檢測器: 離子計數(shù)探測器、正負(fù)離子探測器、107 cps ·質(zhì)量過濾器: 3F四級桿 ·桿直徑: 9mm ·最高加熱: 250℃ ·離子源: 電子轟擊,可用于SNMS和RGA的單根燈絲 MAXIM - Quadrupole SIMS Analyser (562 KB) AP0128 - Magnesium Nitride Phase Formation Through New Ion Beam Implantation Technique (406 KB)
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